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ABOUT 公司簡介
天燿股份有限公司(由原台灣富創得工程(股)公司於 2024 年 10 月更名)成立於 2008 年,是一家擁有自主知識產權的半導體設備研發、製造與銷售公司。
我們提供三大產品線:
- 標準機械介面(SMIF),包括 8 吋與 12 吋的上下料機器人,並配備批次識別(Lot ID)讀取系統(支援智慧標籤、紅外線及 RFID)。
- 高精度無塵晶圓機器人與晶圓傳送埠(Load Port)整合為設備前端模組(EFEM/Sorter)。
- 高溫、無塵且無氧的晶圓烘烤爐(熱固化爐),搭配全自動傳送系統。
天燿股份有限公司 SMIF 上下料系統核心技術傳承於美國 SMIF 技術發明人 Fortrend Engineering,經過近 20 年的技術積累以及市場經驗,公司於 2024 年推出 LPT+ 系列的全新 200mm 和 300mm 的 SMIF load ports。在 wafer robot 產品方面,公司也推出了全新的 Bravo 系列 robots,在產能、精度、穩定性、和無塵潔淨度四方面,完美的提供目前市面上性價比最高的 robot 產品線,也為公司提供的標準 Sorter 和客製化 EFEM 提供了更強大的市場競爭力。公司的 FVO 烤箱系列,採用公司最新的多軸溫控技術,在 (+60~450度) 的全程溫控範圍内,可以保證 (± 1%) 設定溫度的溫控均匀度,並且在全程溫控範圍内保證優於 Class-10 的腔體内潔淨度,提供了市場競爭的最高標準。公司的 oven 系統也因此贏得國內外先進晶圓廠訂單,成為三維積體電路 (3DIC) 高階封裝製程的設備的主流供應商。
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PRODUCTS 產品與技術
提供具高競爭力的半導體自動化與微環境控制產品,涵蓋晶圓處理、傳送機器人與超潔淨製程解決方案。
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NEWS 最新消息
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2025-09-19
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2025-07-17
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2024-06-01
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