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  • ABOUT 公司简介

      天燿股份有限公司(由原台湾富创得工程(股)公司于 2024 年 10 月更名)成立于 2008 年,是一家拥有自主知识产权的半导体设备研发、制造与销售公司。

      我们提供三大产品线:

    1.  标准机械接口(SMIF),包括8英寸与12英寸的上下料机器人,并配备批次识别(Lot ID)读取系统(支持智能标签、红外线及RFID)。
    2.  高精度无尘晶圆机器人与晶圆传送口(Load Port)整合为设备前端模块(EFEM/Sorter)。
    3.  高温、无尘且无氧的晶圆烘烤炉(热固化炉),搭配全自动传送系统。

      天燿股份有限公司 SMIF 上下料系统核心技术传承于美国 SMIF 技术发明人 Fortrend Engineering,经过近 20 年的技术积累以及市场经验,公司于 2024 年推出 LPT+ 系列的全新 200mm 和 300mm 的 SMIF load ports。在 wafer robot 产品方面,公司也推出了全新的 Bravo 系列 robots,在产能、精度、稳定性、和无尘洁净度四方面,完美的提供目前市面上性价比最高的 robot 产品线,也为公司提供的标准 Sorter 和客制化 EFEM 提供了更强大的市场竞争力。公司的 FVO 烤箱系列,采用公司最新的多轴温控技术,在 (+60~450度) 的全程温控范围内,可以保证 (± 1%) 设定温度的温控均匀度,并且在全程温控范围内保证优于 Class-10 的腔体内洁净度,提供了市场竞争的最高标准。公司的 oven 系统也因此赢得国内外先进晶圆厂订单,成为三维集成电路 (3DIC) 高阶封装制程的设备的主流供货商。