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ABOUT 公司简介
天燿股份有限公司(由原台湾富创得工程(股)公司于 2024 年 10 月更名)成立于 2008 年。是一个具有自主 IP 产权的半导体设备研发、制造、销售客服产品公司。公司提供三大产品路线:
- SMIF 生产线全自动密闭盒上下料 load ports 和物料管控 ID(IR 和 RFID)自动化系统;
- 高精度无尘 wafer robot 和设备前端自动化系统(EFEM/Sorter);
- 高温无尘无氧晶圆烘烤箱(thermal curing oven)和批量生产自动化整合系统。
天燿股份有限公司 SMIF 上下料系统核心技术传承于美国 SMIF 技术发明人 Fortrend Engineering,经过近 20 年的技术积累以及市场经验,公司于 2024 年推出 LPT+ 系列的全新 200mm 和 300mm 的 SMIF load ports。在 wafer robot 产品方面,公司也推出了全新的 Bravo 系列 robots,在产能、精度、稳定性、和无尘洁净度四方面,完美的提供目前市面上性价比最高的 robot 产品线,也为公司提供的标准 Sorter 和客制化 EFEM 提供了更强大的市场竞争力。公司的 FVO 烤箱系列,采用公司最新的多轴温控技术,在(+60~450度) 的全程温控范围内,可以保证 (+/- 1%)设定温度的温控均匀度,并且在全程温控范围内保证优于 Class-10 的腔体内洁净度,提供了市场竞争的最高标准。公司的 oven 系统也因此赢得国内外先进晶圆厂订单,成为三维集成电路(3DIC)高阶封装制程的设备的主流供货商。
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PRODUCTS 产品与技术
提供具高竞争力的半导体自动化与微环境控制产品,涵盖晶圆处理、传送机器人与超洁净制程解决方案。
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NEWS 最新消息
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2025-07-17
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2024-06-01
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