公司簡介

　　天燿股份有限公司（由原台灣富創得工程(股)公司於 2024 年 10 月更名）成立於 2008 年。是一個具有自主 IP 產權的半導體設備研發、製造、銷售客服產品公司。公司提供三大產品路線：

1.  SMIF 生產線全自動密閉盒上下料 load ports 和物料管控 ID（IR 和 RFID）自動化系統；
2.  高精度無塵 wafer robot 和設備前端自動化系統（EFEM/Sorter）;
3.  高溫無塵無氧晶圓烘烤箱（thermal curing oven）和批量生產自動化整合系統。

　　天燿股份有限公司 SMIF 上下料系統核心技術傳承於美國 SMIF 技術發明人 Fortrend Engineering，經過近 20 年的技術積累以及市場經驗，公司於 2024 年推出 LPT+ 系列的全新 200mm 和 300mm 的 SMIF load ports。在 wafer robot 產品方面，公司也推出了全新的 Bravo 系列 robots，在產能、精度、穩定性、和無塵潔淨度四方面，完美的提供目前市面上性價比最高的robot產品線，也為公司提供的標準 Sorter 和客製化 EFEM 提供了更強大的市場競爭力。公司的 FVO 烤箱系列，採用公司最新的多軸溫控技術，在(+60~450度) 的全程溫控範圍内，可以保證 (+/- 1%)設定溫度的溫控均匀度，並且在全程溫控範圍内保證優於 Class-10 的腔體内潔淨度，提供了市場競爭的最高標準。公司的 oven 系統也因此贏得國內外先進晶圓廠訂單，成為三維積體電路(3DIC)高階封裝製程的設備的主流供應商。